Ключовата разлика между микроанализа и полумикро анализа е, че микро анализът се използва за анализ на материал с маса по-малка от 10 mg, докато полумикро анализът се използва за анализ на материал с маса около 100-500 mg.
Микро- и полумикро анализът са два вида качествен анализ, който представлява анализ на материала въз основа на техните свойства, а не на техните количества. Микро анализ се отнася до анализ на материал с размери на частиците в микромащаба. За микроанализи могат да се използват различни методи. Полумикро анализът, от друга страна, е разработен метод за микро анализ.